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スパッタ薄膜: 基礎と応用 | 小林春洋 |本 | 通販 | Amazon

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スパッタとは？ - Assit-Navi Corporation

多種多様な薄膜製造装置│薄膜技術と生産力│ジオマテック株式会社

圧電性能を向上、RFスパッタ法でGaN薄膜作製：産総研と村田製作所が共同開発 - EE Times Japan

スパッタリングの基礎 | ELECTRICRF

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